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半自动匀胶显影机

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更新时间：2024-07-20 07:30:03浏览次数：153次

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宁波润华全芯微电子设备有限公司

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产品简介

手动上、下片

详细介绍

手动上、下片，自动对位和自动滴胶、显影，晶圆背部清洗（BSR），边缘清洗（EBR）
CUP腔体自动清洗，CUP方便拆卸，限度减少光刻胶及显影液堆积
胶嘴具有保湿功能，防止由于匀胶机间歇生产而造成光刻胶干化 晶片尺寸
2-12英寸，圆形及方形基片，光刻胶旋涂及显影工艺

主要技术参数
1、晶片尺寸： 2-12寸
2、上下料方式：手动取送片
3、离心机转速
额定转速： 6000 rpm
最小调整量： 1rpm
转速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盘(Chuck)
晶片固定方式：真空吸附
吸盘真空检测：数显真空压力传感器
材质： PPS、陶瓷（可根据客户提供材质制作）
5、收集杯材质(CUP)： PP，气液分离排放
6、供液方式：自动供胶、自动显影
7、光刻胶黏度： MAX. 10000CP
8、光刻胶种类： MAX. 3种
9、光刻胶保湿功能：丙酮药液保湿盒
10、光刻胶清洗功能：晶圆背部清洗；晶圆边缘清洗
11、显影液种类： MAX. 2种