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北京欧波同光学技术有限公司
Coxem SPT-20离子溅射仪
品 牌:Coxem
型号:SPT-20
该产品自动真空控制,条件设置简单,可以实现快速抽真空(<2min),对样品进行镀膜处理,完成镀膜后可以自动卸载真空。同时,样品高度的调节也十分方便。
技术指标:
1、电源:AC 220V,500W
2、重量:10kg
3、尺寸:420(W)x220(D)x230(H)mm
4、机械泵:50L/min(60Hz),AC 220V,150W,14.5kg
5、靶的尺寸:直径50.8mm
6、真空度:约0.1torr
7、zui 大低电压:~3kv
离子流控制范围:1~9mA
特点:
1全自动数字离子溅射镀膜机
2 可一键进行离溅射镀膜,完成镀膜后可自动卸载真空
3具有涂层电流反馈功能的稳定涂层
4可用于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各种金属靶
5采用低噪音旋转泵
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