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Chotest SJ6000激光干涉仪

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更新时间：2022-12-01 15:06:13浏览次数：135次

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产品简介

Chotest SJ6000激光干涉仪

详细介绍

技术指标

系统性能
² 测量方式：单频
² 稳频精度：0.05ppm
² 动态采集频率：50 kHz
² 预热时间：5-10分钟
² 工作温度范围：0~38℃
² 环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%
² 存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
² 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
² 大气压力传感器：±0.1kPa
线性测量
² 测量距离：0-40m
² 测量精度：0.5ppm (0-38℃)
² 测量分辨率：1nm
² 测量速度：3m/sec
角度测量
² 轴向量程：0-15m
² 测量范围：±10°
² 测量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）
² 测量分辨率：0.1″
平面度测量
² 轴向量程：0-15 m
² 测量范围：±1.5 mm
² 测量精度：±（0.6%R+0.02 M²）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）
² 基板尺寸：50mm、100mm、150mm
测量分辨率：0.1μm
直线度测量
² 轴向量程：0.1-4.0 m
² 测量范围：±3.5 mm
² 测量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M²）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）
² 测量分辨率：0.01μm
垂直度测量
² 轴向量程：0.1-3.0 m
测量范围：±3.5mm
² 测量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）
² 测量分辨率：0.01μm/m
回转轴分度精度测量
² 角度测量范围：0-360°
² 精密转台角度增量：5°
² 精密转台分度精度：±1″
² 精密转台重复性：0.2″