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XMS100-S超性能线性位移台具有动态性能,能够在100mm的行程范围内持续、可靠地移动至1nm
XMS100-S超性能线性位移台具有动态性能,能够在100 mm的行程范围内持续、可靠地移动至1 nm。创新且紧凑;XM级在复杂的轨迹上支持鲁棒的、可重复的运动,具有**的精度。XM性能采用精密设计的部件和设计,大限度地减少磨损和电机发热,让您的长期运动投资大化。XM-S位移台是一种超高性能的解决方案,适用于激光加工、半导体晶片加工、传感器测试和校准、超精密装配以及其他具有高动态响应的扫描应用。XMS-S级生产线旨在与XPS-D控制器一起使用。
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