当前位置：湖南艾科威半导体装备有限公司>>>>离子束刻蚀机

离子束刻蚀机

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质其他

所在地

在线询价收藏产品查看联系电话

更新时间：2022-12-22 16:05:12浏览次数：360次

联系我时，请告知来自环保在线

产品分类 品牌分类

暂无信息

湖南艾科威半导体装备有限公司

经营模式：其他

商铺产品：3条

所在地区：

联系人：李经理

询价 给他留言

产品简介

离子束刻蚀又称为离子铣，利用离子源引出的离子束，直接轰击工件，将工件上未被掩膜遮蔽的部分材料溅射出来，实现选择刻蚀的目的。

详细介绍

设备特点

●工件台：圆周旋转或者扫描运动，刻蚀角度可调，刻蚀均匀性高，兼容刻蚀和抛光功能

●工件台采用水冷，确保晶片低温刻蚀

●可配置等离子体中和枪，确保晶片表面无电荷积累

●可配置法拉第测束装置，确保工艺参数的可重复

●真空系统分子泵/低温泵可选

技术指标

●工件台

　　　　适用晶片尺寸：4"～8"，兼容不规则方片

　　　　圆周旋转/往复扫描运动

●离子源：考夫曼离子源

　　　　　离子束能量：0eV～1000eV连续可调

　　　　　束流：200mA （圆形）或300mA （条形）

●刻蚀均匀性：片内±5%，片间±3%

应用范围

　　用于在基板表面抛光或材料的去除，尤其适用于金属材料薄膜的刻蚀，如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、NiCr等

关键词：低温泵

其他推荐产品更多>>



立即询价 您留言后，厂商将第一时间为您服务！

*留言

标题：: 请输入你感兴趣的产品

需求：: 请简单描述您的需求限200字

请简单描述您的需求

*联系人

*电话

单位

微信

同手机号

邮箱

省份

请选择省份

请选择省份
安徽
北京
福建
甘肃
广东
广西
贵州
海南
河北
河南
黑龙江
湖北
湖南
吉林
江苏
江西
辽宁
内蒙古
宁夏
青海
山东
山西
陕西
上海
四川
天津
新疆
西藏
云南
浙江
重庆
香港
澳门
台湾
国外

*验证码

请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

获取其他优质厂商精准报价

提交后，默认您同意《服务条款》和《隐私协议》



联系方式

湖南艾科威半导体装备有限公司

联系人李经理

让卖家联系我

咨询类型：

询价产品

售后服务

详细描述

单位

联系人

电话

验证码

离子束刻蚀机

湖南艾科威半导体装备有限公司

收藏该商铺

提示

收藏该商铺

离子束刻蚀机

湖南艾科威半导体装备有限公司

会员登录

收藏该商铺

提示

收藏该商铺

客户评价列表