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汉钟PS系列干式螺杆真空泵

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更新时间：2022-12-27 14:23:23浏览次数：2092次

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武汉凯芯通半导体技术有限公司

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产品简介

汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦是利用一对互相咬合的螺旋转子 (图一)，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。

详细介绍

汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子 (图一)，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果，压力可达7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 产品特色

1. 泵浦 (Pump) 温度控制精准
干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的寿命。
2. 密封马达安全性高
真空泵浦亦全面采用线型设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可避免制程气体外漏的风险。
3. 微电脑控制保护周全
真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保护，十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求之产业。

干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) S/N 型
干式螺旋真空泵浦 S／N型为无罩式的干式螺旋真空泵浦机型。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的型号有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的特色有：
抽气速度：1600 ~ 30000 L/Min
压力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
监控系统，预防真空泵浦不正常停机
变频及人性化操控界面
适用于一般真空镀膜、烤箱、热处理、食品、化学工业应用

机型	适用行业
PS-80-N PS-160-N PS-180-N PS-602-N PS-902-N PS-1302-N PS-1802-N	一般真空镀膜、烤箱、热处理、食品、化学工业应用
PS-80-S PS-160-S PS-180-S PS-602-S PS-902-S PS-1302-S PS-1802-S	一般真空镀膜、烤箱、热处理、食品、化学工业应用

干式螺旋真空泵浦 A／H型为有罩式的干式螺旋真空泵浦机型。
干式螺旋真空泵浦 A／H型的型号有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式螺旋真空泵浦 A／H型的特色有：
抽气速度：1600 ~ 30000 L/Min
压力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
整合式氮气加热系统，减少气体沉积，延长保养周期及寿命
监控系统，预防真空泵浦不正常停机
适用于半导体、TFT-LCD、LED等光电产业、太阳能、热处理应用

机型	适用行业
PS-80-A PS-160-A PS-180-A PS-602-A PS-902-A PS-1302-A PS-1802-A	半导体、TFT/LCD、LED与太阳能电池产业。
PS-80-A PS-160-A PS-180-A PS-602-A PS-902-A PS-1302-A PS-1802-A	半导体、TFT/LCD、LED与太阳能电池产业。

PS1302 HANBELL 汉钟干式螺旋真空泵

汉钟PS系列干式螺杆真空泵主要特点：
汉钟螺杆真空泵排气路径短，减少反应物沉积
hanbell干式螺杆真空泵相较于其他形式的真空泵，因气体于泵内的传输路径最短，最不易产生反应物沉积的现象。
汉钟螺杆真空泵线形密封性佳，泵浦性能
Hanbell干式螺杆真空泵，转子密封线形，转子密封性佳，转子能以较大的啮合间隙达到更快的抽气效果，由于汉钟真空泵的啮合间隙较大，泵浦较不易因制程气体沉积而卡死，转子也较不易因磨耗而需更换。
汉钟螺杆真空泵结构简单，故障率低，维护容易
Hanbell干式螺杆真空泵因只需要利用一对转子相互啮合达到密封效果，结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计，降低转子与隔板沉积卡死的风险。且因其结构单纯，拆卸维修也比较容易，因此能缩短维修时程，降低维修费用。
汉钟螺杆真空泵微电脑操作，远端监控，保护周全
Hanbell干式螺杆泵微电脑控制器提供真空最简易的操作方式并能显示真空泵完整的运转状态，方便使用者对泵应用状态进行调整，在真空泵产生问题前进行预防保养。远端监控系统能够提供使用者方便的监控工具，使用者不需到现场就能够了解真空泵的运行状态。

汉钟螺杆真空泵典型应用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太阳能Solar
冶金系统Metallurgical System
镀膜Coating
电浆制程Plasma processes
干燥处理Drying Process
制程气体抽取Degassing
生技/制药Biotech/Pharmaceutical
化工产业Chemical Industry
锂电池Battery

机型Model	单位Unit		PS80	PS160	PS180
抽气速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz)	l/min		1300/1600	2150/2600	2500/3000
	m³/hr		80/96	140/156	150/180
	Cfm		48/57	82/92	88/105
压力 Ultimate Pressure	Torr		≤7.5*10^-3
	mbar		≤1*10^-2
	Pa		≤1
马达 Motor	频率Frequency	Hz	50/60
	电压Voltage	V	220-440
	额定功率 Rated Power	Hp	4	6	6
		kW	2.98	2.98	2.98
连接 Connection	进气口Inlet		NW50
	排气口Outlet		NW40
冷却水 Cooling Water	流量Min. Flow	l/min	3-7
	温度temperature	℃	18-30
	压力Pressure	Mpa	0.2-0.4
	接头Connection		RC 3/8"
氮气 N2	压力Purge Pressure	MPa	0.15-0.2
	流量Purge Flow	Slm	0-60
	接头Connection		Swagelok 1/4"
尺寸Dim.	长×宽×高L×W×H	mm	814380663	895405678	920425650
重量Weight	Kg		450	300	320
噪音Noise	dB(A)		≤68	≤70	≤70
系统漏率 System Max. Leak-rate	mbar.l/s		1*10^-5
室温操作范围Operation Temp.	℃		5-40
操作湿度Operation Moisture	RH		90%以上