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ICP-RIE 等离子体刻蚀机

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更新时间:2023-01-26 09:52:04浏览次数:20次

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产品简介

ICP-RIESI500纳米结构低损伤刻蚀由于等离子的能量分布低,从而能实现低损伤刻蚀和纳米结构刻蚀

详细介绍

ICP-RIE SI 500

 

纳米结构低损伤刻蚀 

由于等离子的能量分布低,从而能实现低损伤刻蚀和纳米结构刻蚀。 

简单高速率刻蚀 

MEMS制造工艺中,Si材料光滑侧壁的高速高选择比刻蚀,可以很容易的通过室温或低温工艺实现。 

内置ICP等离子源 

平板三螺旋天线(PTSA)等离子源是SENTECH的等离子工艺系统。PTSA能产生高密度低能量分布的等离子体。

在多种材料刻蚀工艺中都能实现高效率耦合及稳定起辉 。

动态温控 

衬底温度设定和工艺过程中的稳定性是影响刻蚀工艺质量的重要因素。ICP衬底电极结合背面氦气冷却和温度传感器进行动态温控,工艺温度范围为-150 °C 至 +400 °C。 

 

SENTECH面向高灵活性和高产能的刻蚀和沉积系统提供各种级别的自动化装置,从预真空系统到6端口的多工艺腔室装置。SI500可以作为多腔室工艺模块。

 


 

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SI 500 

ICP等离子刻蚀机

真空样品室/load-lock

装载200mm晶圆

样品温度 -20 °C ~ 300 °C 

 

 

 

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SI 500C 

低温ICP等离子刻蚀机

配置传送腔和真空样品室

样品温度 -150 °C ~ 400 °C 

 

 

 

 

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SI 500-RIE 

RIE等离子刻蚀机

智能氦气背部冷却刻蚀

电容耦合等离子源

可升级到ICP等离子源PTSA200

 

 

 

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SI 500-300 

ICP等离子刻蚀机

真空样品室/load-lock

装载300mm晶圆

 

 

 

 

 

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