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北京朗铭润德光电科技有限公司
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椭偏仪
| 指标特点 | Elli-SE | μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer |
| 测量常数 | 膜层厚度，折射率n，消光系数k，波长λ | 膜层厚度，折射率n，消光系数k，波长λ |
| 膜厚范围 | 亚埃级-10微米（取决于膜层） | 亚埃级-10微米（取决于膜层） |
| 波长范围 |
240 ~ 1050 nm （紫外线） or 380 ~ 1050 nm 光谱范围选项：Duv深紫外:193nm, IR红外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
| 240 ~ 1050 nm（紫外线） 光谱范围选项：Duv深紫外:190nm, IR红外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
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| 测量能力 |
正常模式（~10 sec） 快速（1~3 sec）每点（取决于膜层） |
正常模式（~10 sec） 快速（1~3 sec）每点（取决于膜层）
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| 束斑直径-尺寸 | 1.5 mm (可选 100μm, 50 μm, 20 μm) | 10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm |
| 入射角 | 45°~90°（自动变换角度） | 45°~90°（自动变换角度） |
| 膜层数量 | 多至10层（取决于膜层） | 多至10层（取决于膜层） |
| 重复性 | 10次测量在(3σ) ±0.3 Å | 10次测量在(3σ) ±0.3 Å |
| 色散关系 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力学）, Drude-TL, Drude-QM 等 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力学）, Drude-TL, Drude-QM等 |
| 提供功能 | 折射率、消光系数和光带隙 薄膜密度和组成，材料的色散函数库 用户定义的模型功能，数据导入和导出功能，可扩展库 | 折射率、消光系数和光带隙 薄膜密度和组成，材料的色散函数库 用户定义的模型功能，数据导入和导出功能，可扩展库 |
| 应用 | 介质层，半导体，聚合物的厚度测量、支持正反面反射、非常薄膜层，非常厚膜层、多种衬底、半导体材料、显示、介质、聚合物、化合物、太阳能电池 | 介质层，半导体，聚合物的厚度测量、支持正反面反射、非常薄膜层，非常厚膜层、多种衬底、半导体材料、显示、介质、聚合物、化合物、太阳能电池 |
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