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Polaris-C-4(闭循环)特点:载物Chuck温度范围:10K-500K载物chuck可到4英寸制冷功率:1W@4
Polaris-C-4(闭循环)特点: 载物Chuck 温度范围:10K-500K 载物chuck 可到4英寸 制冷功率:1W@4.2K 探针振动抑制:< +/- 60 nm in 30 mins 双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度 可以选择射频配件做67 GHz的射频测试 可以选择防震桌 可以选择超高真空腔体,极限真空到10-10 torr 客户订制 | ||||||||||||||||||||||||||||||
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温控规格:
可选附件 防震桌 内置/外置探针臂 显微镜 方形chuck 分子泵组 射频部件 Chuck可外部移动装置 高真空腔体 客户定制。 |
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