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产品介绍μscan共聚焦显微镜材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析
产品介绍 μscan共聚焦显微镜材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。 μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。 CF4激光共聚焦传感器内,被照亮的小孔成像在被测量的表面,激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,只有当焦平面和真实表面的点配对的时候,探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动,使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术,该系统的精度能达到10nm以下。 μscan激光共聚焦显微镜应用 集成电路封装和表面贴装:快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。 厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量 精密部件:测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等 μscan激光共聚焦显微镜技术参数 1. 测量原理:非接触,激光共聚焦 2. 扫描模块: 2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm(可选),马达驱动 2.2 XY方向平台分辨率0.5um 2.3 Z方向位移范围100mm 2.4 测量速度50mm/S. 3. 传感器模块 3.1 共聚焦传感器,激光光源1.5 µm spot size,1 kHz data rate 3.2 Z方向分辨率0,02um 3.3 XY方向分辨率1um,可连续一次扫描成像,范围达到200mmX200mm 3.4 工作距离 4mm 3.5 Z方向测量范围1mm 4 系统配置 4.1 计算机:高性能计算机控制系统; 4.2 配有专业工作台, 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X),视野8 x 6 mm² 4.4 功能全面的软件 4.5 数据分析:轮廓测量、宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析 |
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