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EIS01成像光谱椭偏仪是一种对样品表面和界面进行高灵敏分析的仪器
EIS01成像光谱椭偏仪是一种对样品表面和界面进行高灵敏分析的仪器。该仪器是在传统椭偏测量技术基础上,集成了高空间分辨的显微成像技术以及高精度的光谱扫描技术,所以,该仪器具有达到次纳米级的纵向灵敏度、达到微米级的横向分辨率、以及可进行快速椭偏成像的技术优势。 EIS01成像光谱椭偏仪适用于对纳米薄膜样品进行高精度的膜厚和折射率检测,尤其适用于对超薄膜、表面、表界面和相关材料的微观尺度结构、薄膜厚度、折射率和吸收系数等参数进行高空间分辨成像的测量。 EIS01成像光谱椭偏仪可应用于半导体集成电路芯片、生物分子芯片、二维材料等领域,服务于生物医药开发、医疗诊断等产业。
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