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杭州宏康精密仪器有限公司
产品特点:l高速移动和定位l130mm/260mm长测量行程以及大测头测量范围l创新测针系统以及仿生学测臂设计l磁性的测臂夹持装置和测臂识别装置l粗糙度和轮廓度二合一l基于友好服务理念的模块化设计技术参数:水平轴的特征:Ø行程长度(Lt):0
产品特点 : l 高速移动和定位 l 130mm/260mm长测量行程以及大测头测量范围 l 创新测针系统以及仿生学测臂设计 l 磁性的测臂夹持装置和测臂识别装置 l 粗糙度和轮廓度二合一 l 基于友好服务理念的模块化设计 | ||||||
技术参数: 水平轴的特征: Ø 行程长度(Lt):0. mm to 260 mm Ø 定位速度:0.02 mm/s 到 200 mm/s Ø 测量速度:0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度测量 推荐速度0.1 mm/s至0.5 mm/s Ø X方向取样间距:0.05 μm至30 μm,可调整 Ø 每次测量最多测量点:5200000点 Ø 分辨率:0.8 nm Ø X轴测量的不确定度:± (0.2+l/1000) μm; l 单位 mm 测头系统特征: Ø 测头测量范围:26 mm (200 mm测臂) Ø 分辨率:0.8mm Ø 测量力:0.5 mN to 30 mN, 可通过软件设置 残余误差 Rz0, Rq0: Ø vt = 0.1 mm / s时的残余误差:Rz0≤ 20 nm Rq0≤ 1 nm, typical 轮廓: Ø 距离测量显示误差:± (1.0+l / 150) µm; l 单位 mm Ø 半径测量显示误差:(R ≤ 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm | ||||||
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