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UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪

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更新时间：2025-02-24 09:08:49浏览次数：113次

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产品简介

UVISELPlus椭圆偏振光谱仪UVISELPlus光谱范围从FUV到NIR：190-2100nmUVISELPlus椭圆偏振光谱仪为薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合

详细介绍

UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪

UVISEL Plus光谱范围从FUV到NIR：190-2100nm
UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。
UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比，能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试（190-2100 nm），校准仅需几分钟。基于全新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq专门为薄膜表征设计，双调制技术可以确保您获得优异的测试结果。
相位调制技术的特点为高频调制 50 kHz，信号采集过程无移动部件：
测试全范围的椭偏角，Ψ (0-90)，Δ (0-360)
从FUV到NIR具有优良的信噪比
数据采集速度快，高达50毫秒/点，是动力学研究和在线测量的理想选择相比于采用旋转元件调制的传统椭圆偏振光谱仪，UVISEL Plus的相位调制模式在表征薄膜方面具有更高的灵敏度和精度。它不仅可以探测到其他椭偏仪无法观测到的极薄膜或界面，还可以表征50µm的厚膜。
在测试有背反射的透明样品时，测试简单、准确，无需刮花背面。
UVISEL Plus还设计有多种附件及可选功能，便于客户根据应用需求及预算选择合适的配置。比如，微光斑用于图案样品、自动变角器、自动样品台等。
UVISEL Plus采用模块化设计，可灵活扩展。即可用于离线台式测量，也可以耦合于镀膜设备做在线监控。
UVISEL Plus可根据习惯选择操作界面，一个是 DeltaPsi2 具有建模和拟合处理功能；另一个是 Auto-Soft 用户导向的全自动样品测试界面，工作流程直观，易于非专业人士操作。
UVISEL Plus搭载FastAcq技术是材料研究和加工、平板显示、微电子和光伏领域中优选通用光谱型椭偏仪。

UVISEL Plus是材料科学研究的理想工具。

产品优势
●高精度和高灵敏度
●模块化设计
●宽光谱范围： 190-2100 nm
●集数据测量、建模和自动化操作为一体的软件包

获得的信息
●膜层厚度，从1Å到50 µm
●表面和界面粗糙度
●光学常数 (n,k) ，适用于各向同/异性和渐变层
●光学特性如：吸收系数α, 光学带隙Eg
●材料性能：合金成分、孔隙率、结晶度及形貌等
●穆勒矩阵
●退偏

配置

UVISEL 规格
●光谱范围：标配190-885nm，可扩展至近红外2100nm
●检测系统：高分辨率光谱仪配合高灵敏探测器
手动配置
●光斑尺寸：0.05 – 0.1 – 1 mm（针孔）
●样品台：直径150mm，手动调节高度（20mm）和倾角
●卡位量角器：手动调节角度，从55°到90°，步径5°
自动配置
●光斑尺寸：0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm（针孔）
●自动样品平台：200 x 200mm或300 x 300mm，手动调节高度（4mm）和倾角；●XYZ样品台，theta平台
●自动量角器：自动调节角度，从45°到90°，步径0.01°
集成型量角器
●手动调节入射角度，从35°到90°，步径5°
●样品台：直径150mm，手动调节高度（20mm）
●自动准直系统（可选）
●尺寸: 25cm*21cm*35cm
在线配置
●机械适配器：CF35或KF40法兰
●易于在在线和离线配置间更改
选配
●附件：冷热台、液体样品池、电化学反应池、反射模块（测试0°入射的反射率）等
●可视化：CCD摄像机
性能
●准确度：Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°，空气对射1.5 - 5.3 eV
●重复性：NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm)，d±0.1%，n(632.8nm)±0.0001