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苏州工业园区浩高电子科技有限公司
产品介绍设备名称:冷场发射扫描电子显微镜型号:S4800厂家:日本Hitachi主要用途:该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察,点分辨率可达1nm
设备名称: 冷场发射扫描电子显微镜
型号: S4800
厂家:日本Hitachi
主要用途:
该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察,点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置,因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应,适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品(有机、高分子、生物样品等)的表面高分辨成像。
主要配置:
电子束减速装置
性能指标:
1、二次电子图像分辨率
≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm)
≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm,普通模式)
≤1.4nm 保证(照射电压1kV,WD = 1.5mm,使用减速装置)
放大倍率:20~800,000×
2、样品台
S-4800型
X 0-50 mm
Y 0-50 mm
Z 1.5-30 mm
T -5°~ + 70°
R 360°
样品尺寸(直径) 100mm
样品台控制 五轴马达驱动
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