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冷场发射扫描电子显微镜

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更新时间:2023-08-02 16:25:05浏览次数:227次

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产品介绍设备名称:冷场发射扫描电子显微镜型号:S4800厂家:日本Hitachi主要用途:该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察,点分辨率可达1nm

详细介绍

产品介绍

设备名称: 冷场发射扫描电子显微镜

型号: S4800

厂家:日本Hitachi

主要用途:

该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察,点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置,因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应,适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品(有机、高分子、生物样品等)的表面高分辨成像。

主要配置:

电子束减速装置

性能指标:

1、二次电子图像分辨率

≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm)

≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm,普通模式)

≤1.4nm 保证(照射电压1kV,WD = 1.5mm,使用减速装置)

放大倍率:20~800,000×

2、样品台

S-4800型

X 0-50 mm

Y 0-50 mm

Z 1.5-30 mm

T -5°~ + 70°

R 360°

样品尺寸(直径) 100mm

样品台控制 五轴马达驱动

冷场发射扫描电子显微镜

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