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爱德华Edwards iXL120 干式真空泵

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更新时间：2023-03-30 13:15:20浏览次数：421次

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苏州奥扬机电设备有限公司

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产品简介

iXL高性能干式真空泵机组iXL系列干泵满足平板显示器(FPD)、半导体和太阳能制造市场领域涉及的所有排气要求

详细介绍

iXL 高性能干式真空泵机组

iXL 系列干泵满足平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场领域涉及的所有排气要求。

这些性能的泵旨在限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须维护。

iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的最小且最轻的泵之一。其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本，有助于保护环境。

关键词：干式真空泵显示器

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