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半自动方片匀胶机

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更新时间：2023-05-15 11:35:43浏览次数：589次

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陕西爱姆加电子设备有限公司

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产品简介

半自动匀胶机，用于小方形基片及尺寸为□50.8×50.8mm晶圆片,可兼容6英寸晶圆；厚度都在0.15-1.5mm基片完成自动滴胶、甩胶、匀胶工艺。

详细介绍

设备主要由主轴单元、自动供给系统（光刻胶）、排风系统、控制系统等组成，采用框架结构，外表为优质不锈钢镜面护板，无发尘量且不吸浮尘颗粒，工作方式为手动上下片，自动完成工艺。
主轴电机采用进口交流无刷伺服电机（德国路斯特），保证旋转转速、加速度控制精度高，重复性、稳定性好。多件套组成的防溅、废液收集、气流控制，使涂胶工艺条件达到，以形成均匀性高的胶膜，满足光刻工艺要求。