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美能探针式台阶仪SP200

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更新时间：2023-05-19 15:17:04浏览次数：130次

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苏州上器试验设备有限公司

经营模式：其他

商铺产品：2条

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产品简介

表面微观特征是材料、化学、精密制造等领域的主要研究内容，准确地评价表面微观形貌、表面特征等，对于相关材料的评定、性能的分析和加工工艺的改善都具有重要意义。在半导体、光伏、LED、MEMS器件、材料等领域，表面台阶高度、膜厚的准确测量具有十分重要的价值，尤其是台阶高度是一个重要的参数，对各种薄膜台阶参数的精确、快速测定和控制，是保证材料质量、提高生产效率的重要手段。

详细介绍

出色的重复性和再现性

(1)单拱龙门式设计，结构稳定性优异，大大降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。；
(2)线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um 量程下可达0.01 埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。;

超微力恒力传感器：1-50mg可调

的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。

超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，提高扫描精度，真实反映工件微小形貌。

全自动XY载物台，Z轴自动升降、360°全自动θ转台

精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整，提高测量效率。

项目	内容
技术测量	探针式表面轮廓测量技术
样品观测	光学导航摄像头：500万像素高分辨率彩色摄像机，FoV，1700*1400μm
探针传感器	超低惯量，LVDC传感器
测量力	1-50mg可调
探针选型	探针曲率半径2μm，夹角60°
Z轴测量重复性	＜0.5% 在环境温度20 ±2 °C下用50X物镜测量4.7um标准台阶样块
平台移动范围X/Y	电动X/Y（100mm*100mm）（可手动校平）
样品R-θ载物台	电动，360°连续旋转
单次扫描长度	55mm
样品厚度	50mm
载物台晶圆尺寸	150mm（6时），200mm（8时）
台阶高度重复性	＜1nm（测量1μm台阶高度，1δ）
传感器量程	330μm
垂直分辨力	分辨力＜0.25 Å（量程为13um时）
扫描速度	2μm/s-10mm/s
仪器电源	100-240 VAC，50/60 Hz
使用环境	相对湿度：湿度（无凝结）30-40% RH 温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃) 地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB 空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）
尺寸和重量	长×宽×高: 640626534(mm) 仪器总重量：<50kg