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合肥科晶材料技术有限公司
型号: PPM 产品概述: GPH-DHDO含有两部分气体净化器(一个用于除氧另一个用于除水),两个净化器用1/4不锈钢管和两个针阀连接在一起,可以与任何科晶混气系统连接。在室温下,它将气态杂质降低到ppm级。它可......
名称 | 惰性气体净化系统-GPH-DHDO |
产品特点 | ·输入:输入气体纯度要求:<1000>1000>
·输出:清除杂质至<0.1 ppm(o2≤0.1="" ppm="">0.1>
·304L不锈钢罐(<10 ra="">10>
·再生操作简单方便
·内置数字温度控制器和气体流量计控制
·再生后可净化多达80L惰性气体
·设备需在270℃下再生(需使用5N纯度的95%N2 + 5%H2气体) |
电源 | ·220v 50Hz
·功率:500W(加热过程中) |
压力输出 | 0.5MPa |
工作温度 | 室温-300℃ |
气体泄漏率 | <2 x="" 10-9="" atm="" cc/sec="">2> |
温度控制器 | 控温精度±1 ºC |
气流 | 400mL/min |
质保期 | 一年保修,终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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使用提示 | ·您可以选购精密质子流量计,输入气体更加准确(图一)
·此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接(图二)
图一 图二 |
外形尺寸 | 445mm L X 400mm W X 190mm H |
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