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开封微米低温科技有限公司
储槽氩气回收
回收量 | 150Nm3/h(依据贮槽实际排放量为准) | |
原料氩气 | 氧气 | ≤10ppma |
氩气 | 纯度≥99.999/5N以上 | |
水 | ≤0.5ppma | |
氮气 | ≤3ppma | |
二氧化碳(CO2)+ 一氧化碳(CO)+甲烷(CH4)含量(体积分数)≤3ppma | ||
压力 | 3.0MPaA |
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