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美国Entegris英特格直通式气体过滤器WG3NS8RR2全新美国Entegris英特格直通式气体过滤器WG3NS8RR2全新 为超纯气体系统过滤提供的微粒过滤,是高温和动态压力应用的理想选择
美国 Entegris 英特格 直通式气体过滤器 WG3NS8RR2 全新
美国 Entegris 英特格 直通式气体过滤器 WG3NS8RR2 全新
为超纯气体系统过滤提供的微粒过滤,是高温和动态压力应用的理想选择。
材料 | 滤芯 | 烧结镍膜过滤器 | ||
住房 | 电抛光 VAR316L 不锈钢外壳 | |||
下游清洁度 | 粒子 | <0.03>0.03><1>1>3) >0.01 μm | ||
挥发物 | H 2 O、O 2和 THC 的挥发性脱气低于检测限(在室温下通过 RGA 和 FID) | |||
移除等级 | ≥0.0015 微米 | |||
表面饰面内饰 | ≤5μin Ra | |||
氦泄漏等级 | 合格的 | 2 × 10 -10 atm-cc/秒。 | ||
已测试 | 1 × 10 -9 atm-cc/秒。 | |||
操作条件: | 入口压力 | 20°C (68ºF) 时为 20 MPa(200 bar,2900 psid) | ||
设计压力 | 20°C (68ºF) 时为 20 MPa(200 bar,2900 psid) | |||
正向/反向压差 | 1 兆帕(10 巴,150 磅/平方英寸) | |||
工作温度 | 惰性气体 | 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi) | ||
腐蚀性和反应性气体 | 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi) | |||
保修单 | 5年 | |||
颗粒保留 | 在 15 slpm 时去除所有颗粒大于 99.9999999% (9 LRV) | |||
流量等级 | 参考性能数据 |
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