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美国 Entegris 英特格 WG2F02RR2F Mini XL 直通式气体过滤器

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更新时间：2024-02-06 13:52:01浏览次数：210次

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远为国际贸易（无锡）有限公司

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产品简介

在气体面板、气体柜和晶圆加工需要超纯气体的任何地方进行的微粒过滤

详细介绍

在气体面板、气体柜和晶圆加工需要超纯气体的任何地方进行的微粒过滤。

材料	滤芯	由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜
材料	住房	电抛光 316L 不锈钢
下游清洁度	粒子	<0.03><1>³) >0.01µm
下游清洁度	挥发物	<10 ppb="">
移除等级	0.0015 微米
表面处理内饰	≤10 微英寸 Ra
氦泄漏等级	合格的	2 × 10 ^-10 atm/cc-sec
氦泄漏等级	已测试	1 × 10 ^-9 atm/cc-sec
浓度分辨率	±0.015 ppm
运行条件	入口压力：	20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
	正向压差：	0.4 MPa（4 巴；60 psid）@ 23°C（73°F）
	压差：	0.07 兆帕（0.7 巴；10 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
	工作温度：	120°C (248°F)
颗粒保留	大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒 @ 100 slpm（以穿透性的颗粒尺寸为参考）
流量等级	参考性能数据