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Cryo-Plex 10 低温泵/冷泵

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更新时间：2023-07-13 19:01:01浏览次数：127次

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上海驰舰半导体科技有限公司

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产品简介

Cryo-Plex 10 低温泵/冷泵

详细介绍

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Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air	3,000
Water	9,000
Hydrogen	5,000
Argon	2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	24
Argon	2,000
Throughput
Argon sccm	1,500
Crossover
Torr-liters	300
Cool down time
60 Hertz	60 Min
Cryopump measurements
Height	23.9"
Weight LBS	85
Inlet flange	ANSI/ISO/CF