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匀胶机

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更新时间:2023-10-08 10:38:48浏览次数:150次

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产品简介

消耗少量光刻胶 多种选配功能 适用多种材料 占地空间少 无需要更换零件 自动晶圆尺寸识别

详细介绍

消耗少量光刻胶
多种选配功能
适用多种材料
占地空间少
无需要更换零件
自动晶圆尺寸识别


抗蚀剂、聚酰亚胺和掺杂剂的全自动 C 到 C 应用 / 烘烤
与晶圆尺寸相匹配的紧凑型外壳

无需更改设置即可处理多种尺寸的晶圆。

从低粘度到高粘度的丰富支持。

支持200μm以上翘曲的输送系统

COO减少和定制支持通过各种选项菜单实现。

高规格

高规格处理量:1000张/天以上
设备尺寸:大型
机器人:2台或自走式


标准

准处理量:500张/天以上

设备尺寸:中型
机器人:1台


研发

研发处理量:100张/天或更多

设备尺寸:小型
机器人:无


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