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北京艾博智业离子技术有限公司
1.技术参数:输入电压AC220V±10%
1.技术参数:
输入电压 | AC220V±10%,50Hz |
工作电压 | DC2400V |
功率(主机与机械泵) | 500W |
工作原理 | 直流溅射 |
可选靶材 | 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属 |
真空泵 | 两级直联旋片式真空泵 1L/s |
真空腔 | φ128×130mm |
样品杯 | φ90×1 / φ25×4 / φ15×6 |
整机尺寸(长×宽×高) | 424×271×255(mm) |
重量(主机) | 11 kg |
工作环境 | 温度 5~40℃,湿度<60% |
存储环境 | 温度-10~60℃,湿度<80% |
工作气体 | Air / Ar |
保护功能 | 过流、真空双保护 |
2.处理效果:(金靶,颗粒尺寸20~50nm)
处理前
处理后
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