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武汉帝尔激光科技股份有限公司


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激光掺杂设备

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更新时间:2023-11-18 11:28:23浏览次数:422次

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产品简介

激光系统用于磷掺杂选择性扩散工艺,可支持离线或在线两种生产方式

详细介绍

激光系统用于磷掺杂选择性扩散工艺,可支持离线或在线两种生产方式;

设备空间布局紧凑,设备占地尺寸小、结构简单、调试方便、标准化模块设计、兼容互换性强;

可提供两激光、三激光、四激光等多种生产方式,从而实现低产能至高产能的全面化覆盖;

采用主机与接驳台两部分构成,可实现人工手动上下料以及AGV自动上下料,以满足客户不同的上料需求;

可与现有市场上所有品牌的印刷机直接对接,兼容性和灵活性高;

支持AOI检测、硅片翻面、方阻检测等功能扩展;

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