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成都兴科维真空科技有限公司
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设备技术参数： 1.1、钟罩:尺寸500mm550mm
设备技术参数：
1.1、钟罩:尺寸500mm×550mm，材料:SUS304;内不锈钢皮隔热，升降高度为350mm;
1.2、机台:尺寸约1550mmX900mm×1100mm(含控制);
1.3、极限真空度:2.0×10-1Pa;
1.4、压升率:≤5Pa/h;
1.5、托样台移动:上下升降范围为±25m;要求上下升降时左右晃动く士3%;
1.6、工作压力:采用薄膜规压力表，测量范国:0～10kPa;工作时恒定在1kPa～5kPa中的任一压力值，恒定的压力数值变化正负0.1kPa;
1.7、进气位置:钟罩顶部进气，抽气口位置位于托样台正下方;
1.8、控制系统:PLC控制器+线路+10寸触摸屏(品牌:西门子/昆仑通态);
1.9、充气系统:2路充气系统，流量计品牌:七星华创，流量范围:0-2000sccm和0-200sccm;
阀门:气动阀。
1.10、真空泵:双极直联式油旋片泵，宁波鲍斯产BSV30;
设备纳米涂层优势
特性：1、 高硬度，国内国际的多项测定表明，纳米压入仪测定的硬度达到80GPa(HV8000),经由纳米金刚石镀膜的工具及产品，硬度远远大于未经镀膜的;
2、 镀膜与基体的结合度，不会产生镀膜层脱落;
3、摩擦系数低至0.092-0.105(对金属钢);
4、 耐磨性能急速提高。许多材料经镀膜后，耐磨性可提升100倍以上;
5、耐腐蚀性更好，纳米金刚石涂层具有化学惰性，例如，覆有100纳米金刚石涂层的电镀件，可经受300小时的盐雾试验，不出现腐蚀变异。
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