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磁控溅射镀膜机

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更新时间：2024-02-11 13:35:50浏览次数：325次

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宁波鸿宇真空科技有限公司

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产品简介

磁控溅射镀膜机磁控溅射镀膜设备是集直流磁控溅射、中频磁控溅射和多弧离子三种技术融合一体的，可适应广泛镀膜靶材，无论是金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜和成膜，使膜层附着力、致密度、重复度及颜色一致性等特点。可以镀金属膜，还可以镀氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化铬、氧化钛、TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3等多种膜层。全SUS304优质不锈钢机身，隐......

详细介绍

设备参数

型号	HY-1214	HY-1416	HY-1618
真空室尺寸	Ø1200*1400mm	Ø1400*1600mm	Ø1600*1800mm
真空室结构	立式单开门
镀膜方式	离子配偏压技术
极限真空	8.0*10-4Pa (空载)
抽气时间	空载大气抽至5.0*10-2Pa小于15分钟
焊材类型	钛靶、铬靶、锆靶、铁靶、钛铝靶，各种中频靶、直流靶等
镀膜颜色	半透明、金、银、玫瑰金、黑、绿、蓝、紫、七彩、 TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3等
控制方式	全自动，半自动，手动 PLC触摸屏控制
特殊要求	按客户特殊工艺要求定制