英国micro-epsilon capaNCDT6500系列电容式传感器是一种多通道电容式位移测量系统,提供亚纳米分辨率、的温度稳定性和传感器的快速切换,无需任何重新校准。
由于其高的分辨率和灵活性,该系统是研发应用、测试实验室、质量保证、学术机构、半导体制造、军事、航空航天和国防应用中需要亚微米和纳米测量尺度的高精度位移、定位、厚度、间隙、漂移或蠕变测量的理想选择。
capaNCDT 6500使用的主动驱动、密封的三轴射频电缆,并与主动防护的三电极传感器相结合。因此,该系统是防电子泄漏的,创造了一个受保护和均匀的测量场。这意味着用户可以获得稳定、精确、无干扰的测量数据。
capaNCDT6500配备了一个24位分辨率的以太网或EtherCAT端口。每个测量通道都有一个的IP地址,因此测量数据可以很容易地输出,然后通过网络共享。由于测量信号是数字输出的,与传统的模拟系统相比,该系统在分辨率或测量精度方面没有任何损失,信号甚至可以传输到世界的另一端!
英国micro-epsilon capaNCDT6500系列电容式传感器四个优点如下:
1)温度稳定性好
电容式传感器的电容值一般与电极材料无关,这有利于选择温度系数低的材料,又因本身发热极小,影响稳定性甚微。而电阻传感器有铜损,易发热产生零漂。
2)结构简单
电容式传感器结构简单,易于制造和保证高的精度,可以做得非常小巧,以实现某些特殊的测量;能工作在高温,强辐射及强磁场等恶劣的环境中,可以承受很大的温度变化,承受高压力,高冲击,过载等;能测量超高温和低压差,也能对带磁工作进行测量。
3)动态响应好
电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N),需要的作用能量极小,又由于它的可动部分可以做得很小很薄,即质量很轻,因此其固有频率很高,动态响应时间短,能在几兆赫兹的频率下工作,特别适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电,因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。
4)可以非接触测量且灵敏度高
可非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
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