IMS5400-DS型英国micro-epsilon距离传感器开辟了工业距离测量的新视角。该控制器具有智能评估功能,能够在相对较大的偏移距离下实现纳米级精度的绝对测量。与其他绝对测量光学系统相比,IMS5400-DS 提供的精度、测量范围和偏移距离的组合。
IMS5400-DS型英国micro-epsilon距离传感器详细应用如下:
纳米分辨率的绝对距离测量
IMS5400-DS 用于高精度位移和距离测量。与传统干涉仪不同,IMS5400-DS 还能够稳定测量阶梯轮廓。由于采用绝对测量,台阶扫描具有高信号稳定性和精度。在测量移动物体时,可以可靠地检测脚跟高度、台阶和凹陷处的差异。
多峰距离测量
通过对透明物体进行多峰值距离测量,最多可同时评估 14 个距离值。例如,可以确定玻璃和承载板之间的距离。此外,控制器可以根据距离值计算玻璃厚度。
对透明物体进行多峰距离测量,同时测量多达 14 个距离值
工业环境的理想选择
金属外壳中的坚固传感器和控制器使该系统非常适合集成到生产线中。该控制器可以通过DIN导轨安装在控制柜中,并由于主动温度补偿和被动冷却而提供非常稳定的测量结果。这些紧凑型传感器非常节省空间,也可以集成在有限的空间中。高度灵活的光纤电缆长度可达 10 m,并允许传感器和控制器在空间上分离。调试和参数化可通过 Web 界面方便地进行,无需安装任何软件。
小光斑,用于最小的细节和结构
传感器在整个测量范围内产生一个小光点。光斑直径仅为 10 µm,可检测半导体结构和微型电子元件等微小细节。
小光斑测量的细节
多种表面的测量
测量多个表面
干涉测量方法可以在多种表面上进行测量。这样可以对反射金属、塑料和玻璃进行高精度距离测量。
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