小型匀胶机

【资料简介】

小型匀胶机 型号：EZ4

EZ4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。 
　　EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。 

产品性能参数： 


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圆晶） 

速度可调范围：100-10000rpm 
加速度可调范围：100-10000rpm/s 
转速分辨率：1rpm  
转速精度：＜±5rpm 
可编程5组5步程序  
宽电压输入：AC100-230V 

产品特性优点： 


75W 直流无刷电机，单片机控制 
高清晰文本显示器  
可单步和多步匀胶操作 

PP耐腐蚀内腔，可更换  
铝合金阳氧化外壳，美观大方  
耐溶剂PC透明盖  
多角度定位铰链设计  
HDPE真空吸盘 
产品外型尺寸： 250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)