日本DNK实验/研究用曝光机介绍

【资料简介】

日本DNK实验/研究用曝光机介绍

 

MA-1200，MA-1400

• 手动批曝光机，用于实验和研究，支持玻璃，晶圆，胶片等。小批量生产的理想选择。

• 可以选择接触曝光（软/硬）和接近曝光。

• 支持z大500 mm x 500 mm的板。配备了光学系统，可根据应用和板子尺寸将超高压汞灯（500W，1kW，2kW，3.5kW）与各种镜子，特殊透镜，聚光镜等​​进行z佳组合。

MA-1200A

• 手动批量曝光机非常适合于高混合，小批量生产，实验和研究，并且可以进行稳定的自动间隙控制。

• 通过减少占用空间实现节省空间。

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			MA-1200	MA-1400
板子尺寸			z大200 x 200mmø4“〜ø6”	高达400 x 400mm
光源			超高压汞灯：500W或1kW	超高压汞灯：2kW或3.5kW
尺寸及重量	车身尺寸		宽12x深1100 x高1725毫米	宽1440 x深1590 x高1882毫米
	体重		400公斤	400kg（包括干净的围栏）
	光源重量		--	250公斤
选项			支持特殊的工作尺寸，例如干净的围栏，背面对准，硬接触（真空接触类型），自动对准，破裂的基板（需要咨询）

*我们接受有关板子尺寸，水银灯瓦数和特殊规格的咨询。

			MA-1200A
晶圆尺寸			ø2“〜ø6”
光源			超高压汞灯：500W或1kW
尺寸及重量	车身尺寸		宽850 x厚1150 x高1665毫米
	重量		400公斤
选项			背面对齐，自动对齐，开裂的板，条形码读取器和LOG存储支持（需要咨询）

*我们接受有关特殊规格的咨询，例如板子尺寸，水银灯瓦数和UV-LED安装。