杜邦™plasmasolv®ekc265,270™蚀刻液

2025年05月21日 08:24:01人气：508来源：北京中科复华科技有限公司

【资料简介】

特点：

制定zui jia的金属堆栈完整性

“改进”宽窗口处理能力

强化蚀刻残余物去除

清洗的掩膜减少化学残留

超大规模集成电路（ULSI）级规格*进封装清洗

工作温度下蒸发速率低

应用：

应用EKC270™蚀刻后残留物器广泛应用在半导体行业，以满足关键的清洁需求

从高深宽比MEMS器件100μm+ 到*进DRAM 的70nm集成的各个阶段

下面列出了常见的应用程序：

北京中科复华科技有限公司作者

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