真空区域的划分及前级真空泵的选择

【资料简介】

真空泵真空区域的划分 真空区域 压强范围 托（Torr） 帕（Pa） 低真空 760~10 101325~1333 中真空 10~10-3 1333~1.33×10-1 高真空 10-3~10-8 1.33×10-1~10-6 超高真空 10-8~10-12 10-6~10-10 *真空 ＜10-12 ＜10-10 对于需要配前级泵的抽气机组，主泵选完之后，重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。选配前级泵的原则是：     （1）前级泵在主泵出口处造成的压力应低于主泵的zui大排气压力     （2）前级泵应保证始终及时排出主泵所排出的气体流量。     （3）兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间及预抽真空度的要求。     根据主泵的工作特性不向，配泵可分为两种情况：一种是主泵需要配前级泵，如扩散泵、分子泵等；另一种是主泵只需要配预抽真空泵，而不需要配前级泵，如各种吸附冷凝泵等。      主泵配前级泵计算时，需要前级泵在主泵出口处形成的压力始终低于该泵的zui大排气压力，主真空泵才能正常工作。普通的油扩散泵的zui大排气压一般为26~40Pa左右；油增压泵的zui大排气压力一般为130~260yPa左右。 真空泵：双级旋片式真空泵     直联水环式真空泵   小型真空泵   2X旋片真空泵