中科院“微纳结构与器件的激光加工与表征平台”通过验收

【资料简介】

 中科院“微纳结构与器件的激光加工与表征平台”通过验收

由中科院修购专款资助的电工所“微纳结构及器件的激光加工与表征平台”顺利通过院修购专项办公室验收。该平台由加工仪器设备和检测仪器设备两大部分组成，可以对材料的表面形貌、表面物性、内部微结构等多个领域进行分析和检测，并可用于纳米级精密测量。

　　其中，用于表面形貌分析和检测、以及物性分析的原子力显微镜扫描范围达到90μm×90μm×10μm，噪声水平小于0.3A，分辨率达原子级；用于纳米级精密测量的激光干涉仪测量系统线性测长为0-40meters、激光头频率稳定性为±0.05ppm、分辨率达到0.038nm；用于全方面粘度测试的粘度测试系统不仅能够控制剪切力和剪切率等影响因素，而且能够处理NEWTON、 OSTWALD、 BINGHAM、 STEIGER-ORI、 CASSON、HERSCHEL –BULKLEY等各种数学模型的数据；此外，扫描式激光多普勒测振仪可以测量高频微小样品（微米级）振动和远距离物体表面振动；X射线能谱仪可以分析介于Be4-U92之间的元素，能量分辨率（Mn-Ka）优于129eV；红外热像仪能够能够对高温热源进行非接触式的温度分布变化动态检测和分析，在线监测被测对象温度的变化；以及微电池测试系统和安捷伦网络分析仪。

　　该平台已于今年2月开始对外进行测试服务，其中原子力显微镜、电制冷能谱仪两台设备已经加入*仪器设备共享管理平台。

　　微纳结构激光加工与器件光电特性测试平台的建成将大幅度提升电工所在材料研究领域的分析测试能力，为新能源利用、太阳能电池、太阳能发电、超导材料、生物电磁学、微纳米加工、电机与电力电子及电气驱动、应用超导技术等前沿领域的研发提供必要的检测手段。作为结合纳米器件激光制备与光电特性评价的综合性基础科学研究与高技术发展平台，该平台的部分功能与指标达到水平。

 中科院“微纳结构与器件的激光加工与表征平台”通过验收