四探针电阻率检测仪

【资料简介】

低阻型四探针检测仪/方阻仪/四探针电阻率检测仪  型号:WS-KDY-1

 

仪器采用GB/T 1552-1995硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法
（2）范围：电阻率10-5～10+3欧姆·厘米，分辨率为10-5欧姆·厘米
方块电阻10-4～10+4欧姆/□，zui小分辨率为10-4欧姆/□
（3）可测量材料：半导体材料硅锗棒、块、片、导电薄膜等
可准确测量的半导体尺寸：直径≥20㎜

可测量的半导体尺寸：直径≥8㎜
（4）测量方式：平面测量。
（5）电压表：双数字电压表，可同时观察电流、电压变化
A.量程0~19.999 mV
B.基本误差±(0.004%读数+0.01%满度)
C.灵敏度：1uV
D输入阻抗﹥1000MΩ
E 4 1/2位数字显示，0～19999
（6）恒流源：
A.电流输出：直流电流0.003～100 mA连续可调，有交流电源供给
B.量程：10uA，100uA，1 mA，10 mA，100 mA五档

 C.恒流源精度：各档均≤±0.05%
（7）四探针测试探头
A.探头间距1.59㎜
B.探针机械游率：±0.3%
C.探针直径0.8㎜
D.探针材料：碳化钨，探针间及探针与其他部分之间的缘电阻大于109欧姆。
（8）测试架：（选配）
手动测试架：KDJ-1A 型手动测试架探头上下由手动操作，可以用作断面单晶棒和硅片测试，探针头可上下移动距离：120mm，测试台面200x200(mm)。
（9）精度
电器精度：1-1000欧姆≤0.3 %
整机测量精度：1-100欧姆·厘米≤3%
（10）电流：220V±10%，50HZ，功率消耗﹤35W
注：如果测金属粉末电阻率必把样品压成块或片才能测

 

 

 

双电测四探针测试仪/四探针测试仪　型号：TC-RTS-5

TC-RTS-5型双电测四探针测试仪采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，因此显著降低了几何因素影响，从而提高了测量结果的准确度。所有这些，用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的。
   TC-RTS-5型双电测四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
    测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析
技术参数：
 测量范围 电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；  
 方块电阻：0.01～2000Ω/□(可扩展)； 
 电导率：0.005～1000 s/cm； 
 电阻：0.001～200Ω.cm； 
可测晶片厚度 ≤3mm
可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 输入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 显示：四位半红色发光管数字显示；性、量程自动显示；
四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；
 针间缘电阻：≥1000MΩ； 
 机械游移率：≤0.3%；
 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
 探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量zui大相对误差(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4%
整机测量标准不确定度 ≤4%
计算机通讯接口 并口
标准使用环境 温度：23±2℃；
 相对湿度：≤65%；
 无高频干扰；
 无强光直射；
 

 

数字式四探针测试仪/四探针测试仪/数字式四探针检测仪　型号：TC-SZT-2000

 

TC-SZT-2000A型数字式四探针测试仪是根据四探针测试原理研究成功的多用途的综合测量装置，它可以测量棒状、块状
半导体材料的电阻率和半导体扩散层的薄层电阻进行测量，可以从10-6--105Ω—cm全量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电阻，是硅材料质量监测的必需仪器。
仪器为台式结构，分为电气箱、测试架两大部分，用户可以根据测试需要安放在一般工作台或者工作台上，测试架由探头及压力传动机构、样品架组成，耐磨和使用寿命长的特点。探头内设有弹簧压力装置，压力从0—2Kg连续可调，测试架设有手动和电动两种装置供用户选购。
仪器电气箱主要由高灵敏的直流数字电压表和高稳定的恒流源组成，测量结果由数字直接显示，仪器有自校量程，可以方便地对仪器的电气性能进行校验。
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点，仪器于半导体材料厂、器件厂、科学研究部门、高等院校，对半导体材料的电阻性能测试及工艺检测。
仪器主要技术指标：
1．  范围：电阻率10-4—103Ω—cm，可扩展至105Ω—cm，分辩率为10-6Ω—cm
         方块电阻10-3—103Ω /□
         电阻10-6—105Ω
2．  可测半导体尺寸：直径Φ15—150mm
3．  测量方式：轴向、断面均可（手动测试架）
4．  数字电压表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V 
  (2)测量误差 0.2mV档±（0.3%读数+8字）
              2 mV档以上±（0.3%读数+2字）
  (3)输入阻抗0.2mV、2mV挡105Ω
              20mV档以上>108Ω
  (4)显示3 1/2位数字显示，0—1999
具有性和过载自动显示，小数点、单位自动显示
5．  恒流源：（1）电流输出：直流电流0—100mA连续可调，由交流电源供给
   （2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五档
   （3）电流误差：±（0.3%读数+2字）
6．四探针测试探头  （1）探头间距：1mm   (2)探针机械游率：±0.3% 
                   (3) 探针：Φ0.5mm    (4)压力：可调
  7. 测试架：
  （1）手动测试架：探头上升及下降由手动操作，可以用作轴向和断面的单晶棒和硅片测试。
  （2）电动测试架：探头的上升和下降由电动操作，设有自动控制器控制，探头上升时间1S—99S可调，探头下降时间1S—99S可调，压力恒定可调（由砝码来设定）同时设有脚踏控制装置由脚踏开关控制探头上下运动。
   8.电流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W
9．    外形尺寸：电气箱130×110×400mm

公司名称：北京同德创业科技有限公司
联 系 人：苏
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:     2495283342
地    址：北京市通州区新华北街117号
网    站：www.5117sel.com