S48 32/HMT气体质量流量计，气体质量流量控制器

【资料简介】

编号	项目	S48 32/HMT质量流量计，质量流量控制器
1	流量规格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	安装角度	任意
5	流量控制范围	2%～*
6	流量测量范围	0～*
7	响应时间	2s（T98，设定值的±2% F.S.）
8	工作环境温度	5℃～50℃
9	精度保证温度	15℃～35℃
10	精度	±1.0%F.S.
11	线性精度	±0.5%F.S.
12	重复性	±0.2%F.S.
13	工作压差	～5L/min (50～300)kPa(D) 5L/min～10L/min (100～300)kPa(D)  30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)
14	耐压	3MPa
15	泄漏率	1×10-8 Pa•m3/s （He）
16	接触气体材料	316L,PTFE,Viton氟橡胶
17	管路接头	Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18	供电电源	±15VDC(±5%)  +15V＜100mA,-15V＜150mA	+24VDC(宽电压+11～+25V), ＜250mA(+24Vdc供电时)
19	设定信号	(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
20	流量输出信号	(0～5)VDC 负载能力≤3mA
21	电气接头	D-SUB15,D-SUB9
22	重量(kg)	0.9