操作薄膜电阻测定仪正确方法

【资料简介】

薄膜电阻测定仪 型号：TD-SZT-2A
1．SZT-2A 主机采用的电路设计，所测数值更精、更快、更准（一代为传统式电路，缺点：体积大，速度慢，元器件繁多导致影响机器寿命）。
2．屏幕采用液晶显示（一代为只有数码管显示）。
3．匹配电脑接口及软件，让操作简便明了化（可直接连接电脑，电脑进行自动运算根据输入厚度，自动比照并修正系数，使被测结果更，数据可储藏或删除，利于使用方保存记录）。
4．二代的测试架采用自动传感装置，接近被测物体时实行自动减速，避免了被测物体的损耗和探头的磨损（于国内市场上任何一款同类产品的测试架，老一代为手动）。 5. 本仪器测试电阻、电阻率、方块电阻时，标准系数为机器自带自调，无需另外手工调整，省去了原仪器的诸多麻烦。
6. 本仪器的zui小分辨率为0.1mΩ
7．主机带有手自一体功能
8．测试探头为钨针，市场上多为高速钢针。
9．每次测量均有内置计算机自动进行温度补偿及电压电流矫正。
10．整机测量标准不确定度：≤ 2%（国内其它厂家误差为≤ 5% ）
11. 技术参数：
1)． 测量范围：
电阻率：10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方块电阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
电阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2)． 可测半导体材料尺寸
直径：5mm-130mm
长度：≤400mm
3)． 测量方法：
轴向、断面均可
4)． 显示方式：41/2,数显,性、过载自动显示，小数点、单位自动显示。
5)． 恒流源：
（1） 电流输出：直流电流0~100 mA连续可调。
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA
（3） 误差：±0.5%读数±1个字
6).四探针测试探头
(1) 探针间距:1mm
(2) 材料:碳化钨.探针机械游移率:±1.0%
7).电源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W
8) SZT-2A 分为带电脑接口和不带电脑接口的两种，带接口功能为当硅片的厚度＜1mm时自动修正读数，使得测量出的数据准确率为99%，被测试的数据自动生成表格并可以打印，可以随时保存和删除.