sscooling半导体冷水机组ThermoRack 1801 实验室冷水机-秋山科技（东莞）有限公司

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更新时间：2024-03-24 11:58:14浏览次数：443次

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产地	进口	冷却方式	水冷式
仪器种类	分体式

产地

进口

冷却方式

水冷式

仪器种类

分体式

sscooling半导体冷水机组ThermoRack 1801

1，800 瓦的冷却能力 – 在相同的 50U 机架式机箱中，容量比 ThermoRack 1201 高 5%
±0.05°C 温度稳定性/重复性
工作温度范围：-20°C 至 80°C
专为非常快速的响应而设计
提供标准高流量、中流量和低流量配置
减少晶圆间的变化，消除晶圆效应
比基于压缩机的冷水机组节能高达 80%
采用热电技术，可靠性高，维护成本低

设计简单 – 只有 2 个活动部件
消除氟利昂和其他有害制冷剂，符合新的环境法规
使用更少的设施水和昂贵的冷却剂，如氟惰性或高登
紧凑的尺寸：多达 6 个 TR1801 系统适合 1 台压缩机冷水机组的空间
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系统
通用电源 – 插入即可在世界任何地方使用
等离子刻蚀、等离子灰、CMP 和其他工艺的解决方案

sscooling半导体冷水机组ThermoRack 1801

规格

工作范围：

-20°C 至 80°C（需要 N2/CDA）
LT 在低于 0°C 时需要选件

环境温度：

10°C 至 40°C 无冷凝

稳定性/可重复性：

恒定负载下± 0.05°C（即使在接近环境温度时）

制冷量*：

1，600-2，000 瓦 @ 20°C，20°C 设施用水
，具体取决于冷板和工艺流体

加热能力**：

3，000-3，400 瓦 @ 20°C，20°C 设施用水
，具体取决于冷板和工艺流体

冷却液/工艺流体：

氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇

工艺流体接头：

1/2“ 世伟洛克 1/2" 世伟洛克（316 不锈钢）

泵：

无刷直流磁力驱动离心机

流量：

（参见泵曲线）

油箱容积：

5.7 升（1.5 加仑），带 2 个液位传感器

设施用水：

8-12 升/分钟（2-3 加仑/分钟）@ 10-35°C 过滤、处理过的再循环设施冷却水，pH 6.5 至 8.2

设施水配件：

1/2“ 世伟洛克（316 不锈钢）

N2/CDA （必需）：

500 sccm -30°C 露点或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低温操作

接液材料：

工艺：铝，不锈钢和聚合物设施
：密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢

尺寸（宽 x 深 x 高）：

19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）

重量：

70 磅（31 千克）

电源输入：

200-240 VAC 1 相，50/60 Hz，最大 10 A

断路器：

16 安培 200-250 VAC 2 极，带 30 mA GFCI

远程EMO：

外部干接点

通信：

泛林，应用材料公司， RS232，其他

警报：

温度、液位、系统或组件
故障（显示、干接点和机器接口）

标准：

半 S2-0200，符合 F47 标准，CE

保证：

2 年

*注意：冷却能力会因配置和设施而异水温/流速

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