日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K 实验室冷水机-秋山科技（东莞）有限公司

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更新时间：2024-03-24 12:00:18浏览次数：522次

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陈霞

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产地	进口	冷却方式	水冷式
仪器种类	分体式

产地

进口

冷却方式

水冷式

仪器种类

分体式

日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K

我们专为半导体加工而设计的最高容量冷水机组
3，000 或 5，000 瓦的冷却能力
±0.05°C 温度稳定性/重复性
两种泵选项，流量高达 10 gpm，压力高达 100+ psig
减少晶圆间的变化，消除晶圆效应
比基于压缩机的冷水机组节能高达 80%
采用热电技术，可靠性高，维护成本低
模块化设计，易于维护

消除氟利昂和其他有害制冷剂，符合新的环境法规
使用更少的设施水和昂贵的冷却剂，如氟惰性或高登
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系统
通用电源 – 插入即可在世界任何地方使用
等离子蚀刻、等离子灰分、计量、CMP 和其他工艺的解决方案

规格

工作范围：

-10°C 至 80°C

环境温度：

10°C 至 40°C 无冷凝

稳定性/可重复性：

恒定负载下± 0.05°C（即使在接近环境温度时）

制冷量*：

尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 设施用水）尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 设施用水）

冷却液/工艺流体：

针对氟惰性/高登或HFE流体进行设置
提供可选的乙二醇/水配置

工艺流体接头：

3/4“ 世伟洛克（316 不锈钢）

泵：

磁耦合涡轮机（高功率或高功率）

流量：

高达 10 加仑/分钟（38 升/分钟），流量和
压力可调（10 至 100 psig）

油箱容积：

10 升（2.6 加仑），带 2 个液位传感器

设施用水：

25 升/分钟（6 加仑/分钟）@ 7-25°C 过滤，处理过的循环设施冷却水，pH 6.5 至 8.2

设施水配件：

3/4“ 世伟洛克（316 不锈钢）

N2/CDA（必需）：

500 sccm -30°C 露点或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低温操作

接液材料：

工艺：铝，不锈钢和聚合物设施
：密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢

尺寸（宽 x 深 x 高）：

22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）

重量：

~300 磅（136 千克）干

电源输入：

200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A

断路器：

20/30 安培 480 VAC 3 极，带 GFCI

远程EMO：

外部干接点

通信：

泛林，应用材料公司， RS232，其他

警报：

温度、液位、系统或组件
故障（显示、干接点和机器接口）

标准：

半 S2-0200，符合 F47 标准，CE

保证：

2 年

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