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石墨烯生长炉PECVD设备

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产品型号KJ-T1200-S60LC-H2

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更新时间：2022-09-07 11:20:34浏览次数：238次

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石墨烯、纳米管生长炉

等离子增强CVD系统(PECVD)

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产品简介

产品介绍：KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制备机是由KJ-T1200开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成

详细介绍

产品介绍：
KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制备机是由KJ-T1200开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。可适用于石墨烯生长等。

主要功能和特点：
1、PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等；
2、真空系统由旋片真空泵和进口数显真空计组成，真空可达10Pa；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；触屏操作，操作简单方便。
4、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界卡套连接，不漏气；

设备主要技术参数：

产品名称	石墨烯生长炉PECVD设备(CE认证)
开启式滑轨管式炉部分
产品型号	KJ-T1200-S60LC-H2
炉管尺寸	Φ60mmX1600mm
加热区	300mm
工作温度	1100℃
温度	1200℃
温控方式	K型热电偶
控制方式	温度控制系统采用触屏操作，人工智能调节技术，具有 PID 调节、自整定功能并可编制 30 段升降温程序；
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20ºC/min ，建议10ºC/min
加热元件	含钼电阻丝
工作电压	AC 220V 单相 50HZ
加热功率	3KW
炉膛材料	氧化铝多晶纤维
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。
炉体结构	滑轨结构，可以实现快速降温
炉管	石英炉管

真空系统部分
名称	真空系统
主要参数	采用旋片真空泵和进口数显真空计组成，真空度可达10Pa KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；进口数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5-1500mbar，测量精度可达0.1mbar，测量不同气体种类不需要系数转换
气路系统部分
名称	四路质量流量计
主要参数	四通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示。流量范围流量范围： 1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可调 2.一个混气罐 3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体； 4.进出气口：4进1出流量控制：手动旋转式调节连接方式：双卡套连接
等离子电源部分
名称	500W等离子电源
功率范围	0-500W（连续可调）
工作频率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	连续输出
功率稳定度	≤2W
反射功率	70W
电源保护设置	DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护
供电电压/频率	单相交流（187V-253V）50-60HZ
冷却方式	风冷
整机重量	13.5KG
随机赠送	石英管1支、坩埚钩、炉塞、密封圈、水冷机、硅胶管、内六角扳手、说明书、保修卡等
售后服务	整机质保一年，终身保修（加热元件、密封圈等随机赠送配件不属于质保范围）

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。