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自动回转进料PECVD设备

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更新时间：2022-09-12 12:57:18浏览次数：161次

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合肥康帕因设备技术有限公司

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产品简介

产品特点：1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结更均匀；2.可左右大角度倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间

详细介绍

产品特点：

1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结更均匀；

2.可左右大角度倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间。

3、广泛应用于电池正负极材料，无强酸碱性粉体材料，颗粒状物料。

型号	LFT 1200C440D60R-CVD
温度	1200℃
工作温度	1100℃
升温速率	30℃/min
加热区长度	440mm
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝
热电偶	K型
控温方式	模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸	Φ604202+Φ100*360mm
炉管转速	3~13r/min
倾斜角度	0~35°
密封方式	两端法兰+磁流体密封
加热功率	3KW
供电电源	220V 50Hz
设备净重	约200KG
供气系统	100sccm、200sccm、200sccm（量程、流量计数量可选）
真空系统	低真空机组，真空度可达1*10-1
真空系统	（可选配高真空机组）