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HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱用于光刻工艺中基板疏水化处理, HMDS 涂布的原理,较常用的黏附剂是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻胶的黏附性工艺中,实...
可程式HMDS蒸镀设备,HMDS真空镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了H...
气相成底膜烤箱,HMDS蒸气淀积系统用于除去硅片表面的污染物(颗粒、有机物、工艺残余、可动离子),除去水蒸气,使基底表面由亲水性变为憎水性,增强表面的黏附性(H...
智能型HMDS涂胶机,自动HMDS涂胶镀膜机也称为HMDS处理,是用于使晶片表面呈疏水性的处理。
HMDS涂胶机,智能型HMDS涂 胶机将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物...
光刻工艺HMDS镀膜机,MOS器件HMDS镀膜 机涂布工艺是改善晶圆表面接触角的关键步骤。
HMDS镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降...
HMDS涂胶系统,HMDS涂胶烤箱通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处...
HMDS镀膜机设备。整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作,无发尘材料,适用百级光刻间净化环境。
抗粘剂蒸镀机,抗粘层镀膜机在基片与弹性支撑层之间还形成有抗黏层,抗黏层一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。
脱模剂蒸镀机,脱 模剂镀膜烤箱应用于半导体,光电、电子行业硅片、砂纸或石英硬模板等材料。
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