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工作电压 | 220/380v | 功率 | 4kw |
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高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱概述
高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.
技术指标
Ø 洁净度:class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境
Ø 升温时间:5-8℃/min,(空箱测试)
Ø 降温时间:可满足130℃-50℃,降温5℃/min(空箱测试)
Ø 氧含量
(配氧含量分析仪)高温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量
低温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量
Ø 数据输出:温度和氧含量无纸记录仪
安全保护性能
Ø 报警功能: 1)三色灯 2) 超温报警 3)热电偶故障报警 4)低水压报警
Ø 安保功能:1)短路保护
2)漏电保护
3)超温保护,独立感温式超温保护器
4)电机保护,电机过电流、水冷保护
5)电磁门禁保护,当温度超过100℃,电子锁自动锁紧,防止高温开门
设备环境安装条件
Ø 环境温、湿度5℃~+35℃,相对湿度:≤85%;
Ø 周围无强烈震动;
Ø 无阳光直接照射或其它热源直接辐射,
Ø 周围无强烈电磁场影响;
Ø 周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质;
Ø 百级洁净车间;
Ø 周围无强烈气流,当周围空气需要强制流动时,气流不应在直接吹到箱体上;
Ø 设备应放在坚固平稳的平面上,并使其保持水平状态;
Ø 安装设备使用空开电源 ;
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