六通道高真空PECVD系统是一款由1200度管式炉，等离子射频电源，分子泵高真空，六通道气路等组成的等离子化学气相沉积系统，加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。
使用范围：
该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）、石墨烯材料等。也可可应用于纳米材料生长，石墨烯生成、金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜等各种薄膜等，可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
技术参数：
| 产品名称 | 六通道高真空PECVD系统(CE认证) |
| 管式炉部分 | |
| 产品型号 | KJ-T1200-S60-6ZH-PE |
| 炉管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
| 炉管材质 | 石英管 |
| 加热区 | 400mm |
| 工作温度 | 1100℃ |
| 温度 | 1200℃ |
| 温控方式 | K型热电偶 |
| 控制方式 | 30段可编程序控温 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
| 升温速率 | 0-20ºC/min ，建议10ºC/min |
| 加热元件 | 含钼电阻丝 |
| 工作电压 | AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制） |
| 加热功率 | 3KW |
| 炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
| 法兰接头 | 标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
| 密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。 |
| 选配 | 辅助降温风扇 |
| 真空系统部分 | |
| 名称 | 真空系统 |
| 主要参数 | 1.采用高真空分子泵组，极限真空度可达10-3pa 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 3.数字式真空显示，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度高高 |
| 气路系统部分 | |
| 名称 | 六路质量流量计 |
| 主要参数 | 六通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示，自动控制。流量范围流量范围： 1.MFC 1-MFC6：0-1000sccm可调 2.一个混气罐 3.6个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制6种气体； 4.进出气口：6进1出 流量控制：手动旋转式调节 连接方式：双卡套连接 |
| 等离子电源部分 | |
| 名称 | 500W等离子电源 |
| 功率范围 | 0-500W（连续可调） |
| 工作频率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 工作模式 | 连续输出 |
| 射频输出阻抗接口 | N-type,female（50Ω） |
| 功率稳定度 | ≤2W |
| 反射功率 | 70W |
| 电源保护设置 | DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 |
| 供电电压/频率 | 单相交流（187V-253V）50-60HZ |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 整机尺寸 | 88X483X550 MM |
| 整机重量 | 13.5KG |
| 认证 | *、CE认证 |
| 售后服务 | 质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围） |
| 更多规格可根据要求来定制 | |
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。
