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混气PECVD设备

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称郑州科佳电炉有限公司
  • 品       牌
  • 型       号KJ-T1200PE
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2022/9/2 9:19:30
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  郑州科佳电炉诚招产品代理,提供OEM代工。    



科佳电炉有限公司专业研发、制造高低温加热干燥设备、UV(紫外线)干燥设备。公司拥有优良的加工设备和*的加工工艺和检测方法。主营产品。其中高温加热设备有:实验电炉箱式电炉管式电炉马弗炉高温电炉钟罩炉升降炉真空炉井式炉气氛炉

   低温加热干燥设备有:工业精密热风烤箱、洁净型热风烤箱、无尘、无氧化烤箱、隧道式烤箱、红外线烤箱等;UV(紫外线)干燥设备UV固化机、UV干燥机、UV上光机等。我们坚持以客户需求为导向,致力于不断提高产品的质量和完善的服务,努力确保客户满意。

     我们在坚持自主创新的基础上吸收国内外优秀产品的*技术,结合国内实际情况研究开发、生产高低温干燥设备UV干燥设备高温加热干燥设备产品广泛用于大专院校、科研院所,各类企业等;广泛用于陶瓷化工电子冶金新材料开发机械耐火材料建材特种材料等领域的实验和生产。低温加热干燥设备和UV(紫外线)干燥设备广泛应用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封装、CMOS、SMT、电脑键盘、薄膜开关硅胶按键光学镜片线圈、化工、木器、运动鞋商标印刷、纸张印刷、汽车配件塑胶领域。产品远销美洲、欧洲、中东、东南亚等地。

科佳公司全体员工真诚希望与各界朋友,携手共进,合作共赢!

实验电炉,马弗炉,旋转升降炉,高温真空炉
产品描述:KJ-T1200PECVD是一种PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统,它由500W射频电源、带有200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成
混气PECVD设备 产品信息
产品描述:
    KJ-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统,它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。
 
产品参数:
 
型号KJ-T1200 PECVD
部分:标准件
等离子射频电源
 
输出功率5 -500W可调,均匀性 ± 1%
RF频率13.56 MHz ±0.005%
反射功率 200W
射频输出端口50 Ω,N型
噪音<50 dB.
冷却空气冷却
管式炉部分
 
显示LED
形式分体式和上部可打开
连续工作温度≤1100℃
升温速率建议:0~10℃/min(20℃/min)
温区长度500mm
加热元件含钼电阻丝
热电偶K型
温度均匀性±1℃
炉管尺寸200m外径 X 长度1600mm
材质:石英管 
温度控制通SCR功率控制进行 PID 自动控制
加热曲线30步可编程
法兰不锈钢带阀真空法兰 
电压380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵
 
旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵将设计成带轮的推车。
质量流量计三款精密质量流量计:
MFC 1:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 2:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 3:气体流量范围从 0~100 sccm
(或根据您的要求)
底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合
 
数字真空计皮拉尼数字真空计 
 
 

 
 
 
 
 
 
 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

 

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