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卷对卷PECVD设备

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称郑州科佳电炉有限公司
  • 品       牌
  • 型       号KJ-T1200-J
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2022/9/2 9:45:19
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  郑州科佳电炉诚招产品代理,提供OEM代工。    



科佳电炉有限公司专业研发、制造高低温加热干燥设备、UV(紫外线)干燥设备。公司拥有优良的加工设备和*的加工工艺和检测方法。主营产品。其中高温加热设备有:实验电炉箱式电炉管式电炉马弗炉高温电炉钟罩炉升降炉真空炉井式炉气氛炉

   低温加热干燥设备有:工业精密热风烤箱、洁净型热风烤箱、无尘、无氧化烤箱、隧道式烤箱、红外线烤箱等;UV(紫外线)干燥设备UV固化机、UV干燥机、UV上光机等。我们坚持以客户需求为导向,致力于不断提高产品的质量和完善的服务,努力确保客户满意。

     我们在坚持自主创新的基础上吸收国内外优秀产品的*技术,结合国内实际情况研究开发、生产高低温干燥设备UV干燥设备高温加热干燥设备产品广泛用于大专院校、科研院所,各类企业等;广泛用于陶瓷化工电子冶金新材料开发机械耐火材料建材特种材料等领域的实验和生产。低温加热干燥设备和UV(紫外线)干燥设备广泛应用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封装、CMOS、SMT、电脑键盘、薄膜开关硅胶按键光学镜片线圈、化工、木器、运动鞋商标印刷、纸张印刷、汽车配件塑胶领域。产品远销美洲、欧洲、中东、东南亚等地。

科佳公司全体员工真诚希望与各界朋友,携手共进,合作共赢!

实验电炉,马弗炉,旋转升降炉,高温真空炉
产品介绍:卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置
卷对卷PECVD设备 产品信息
产品介绍:
    卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中,如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。
   设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分,整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。 收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样

产品参数:
产品名称卷对卷PECVD系统
产品型号KJ-T1200-JCY
1200℃双温区管式炉供电电压AC220V,50Hz
*大功率3KW
加热温区双温区 200mm+200mm
工作温度≤1200℃
控温精度±1℃
控温方式AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条
炉管材质高纯石英
炉管尺寸φ80mm I.D x 1400mm L
密封方式不锈钢真空法兰
真空测量电阻规
工作气体氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体
真空泵双极旋片式真空泵
极限真空度10^-1Pa
三路质量流量计阀门类型不锈钢针阀
气路数量三路
承压范围0.05~0.3MPa
量程1~100 SCCM(Ar)
1~200 SCCM(H2
1~500 SCCM (CH4)
流量控制范围±1.5%
混气罐容积750mL
气路材料304不锈钢
管道接口6.35mm卡套接头
供电电源AC220V 50Hz
S射频电源输出功率500W
输出精度±1%
射频频率13.56MHz
射频稳定度±0.005%
冷却方式风冷

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

 

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