“*的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计，仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。
特点
• 紧凑型设计，分辨率为4 nm*1
• 通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器(UVD*2)，实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
• 操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片
• 新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视野
• 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统，便于快速分析元素成分*2
*1设置在桌面时，分离主机和电源箱
*2选配
规格
| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| FlexSEM 1000 | FlexSEM 1000 II | |
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式） | |
| 加速电压 | 0.3 kV～20 kV | |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率） | |
| 低真空设置 | 6～100 Pa | |
| 电子枪 | 集中灯箱（Pre-Centered Cartridge Filament） | |
| 样品台 | 3轴马达驱动样品台 X：0～40 mm、Y：0～50 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° | 3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° |
| 样品尺寸 | 直径80 mm | |
| 样品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm | |
| 选项 |
|
|
| 软件 | Zigzag（连续视野图像导入功能） | Multi Zigzag（连续视野图像导入功能） |
- *3
- 机体和电源盒连接时候
- *
- PC、桌子、监控器由客户准备
