ESCALAB™ XI+X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe X射线光电子能谱仪

Thermo Scientific ESCALAB™XI 能满足您对分析性能和灵活性的要求+X射线光电子能谱仪是一款具有高灵敏度和高分辨率能实现表面元素定量的仪器;同时，也是一款具有成像功能以及其他可扩展功能能实现多技术连用的平台。

ESCALAB XI配备了微聚焦单色化X射线源，旨在提供的XPS分析性能+X射线光电子能谱仪能满足大吞吐量样品测试需求多技术能力、一系列灵活的样品制备室及样品处理设备，使该仪器在解决任何表面分析问题时都能游刃有余。利用*的 Avantage 数据采集和处理系统，从测试数据中挖掘尽可能多的信息。

The ESCALAB XI+ X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe Features:

· 高灵敏度能谱

· 小面积 XPS

· 深度剖析能力

· 角分辨 XPS

· 标配离子散射能谱 (ISS)功能

· 标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能

· 标配“样品预处理”室

· 多技术分析的多功能性

· 多个样品制备技术可选

· 全自动无人值守式分析

· 多样品分析

单色化X射线源

· 双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶

· 样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm

透镜、分析仪和检测器

· 透镜、分析仪和检测器构成XPS检测系统+XPS光谱仪在成像和微区方面的分析能力都是无二的

· 两种类型的检测器可以确保为每种分析提供检测——用于成像的二维检测器和适用于高计数率检测的电子倍增器

· 透镜配备了两个电脑控制的虹膜机构 - 一个允许用户将透镜的视野控制在<20μm以下进行微区分析，另一个控制透镜的接收角度，以便获得高质量角度分辨数据

· 180° 半球型能量分析器

深度剖析

· 数控式 EX06 离子枪是一款高性能的离子源，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能

· 提供方位角样品旋转

· 多技术能力

· 可配备其他分析技术而不降低 XPS 检测性能

· 使用 EX06 离子枪时透镜组和能量分析仪的电源可反向(确保离子散射能谱 (ISS) 可用)

· 电子枪可加压升至 1000 V，为 REELS 提供优异的离子源

技术选项

· 非单色化 X 射线光源的XPS分析

· AES(俄歇电子能谱)

· UPS(紫外光电子能谱)

真空系统

· 5 mm 厚高导磁m金属分析室，提高磁屏蔽效率

· 与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

样品制备

· 系统标配一体化的快速进样室和制备室

· 额外的制备室可选

Avantage 数据系统

· 集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成

· 允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互(例如 Microsoft Word)

· 管理从样品载入到报告导出的整个分析过程