ulvac-kiko溅射设备 主泵 油雾捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
ulvac-kiko溅射设备 主泵 油雾捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。
适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。
特点
玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发。
更改为EB规格，可成膜高熔点的材料。
蒸发设备带有脚轮，移动更为容易。
带有调节器，可确保设置的安全性。
规格
| 型式 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 极限压力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液体氮气使用时） |
| 排气时间 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa台/10min（液体氮气使用时） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃钟罩（内径Φ390mm×高350mm) |
| 馈通圈 | 20端口(側面14/底面6) | |
| 基板推荐尺寸・最大尺寸 | □50mm ・ □220mm（Max） | |
| 电源系统 | 蒸发电极构成 | 3点式 |
| 蒸发电源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排气系统 | 主泵 | 油扩散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液体氮气捕集器 | 有 | |
| 補助泵 | 油回转泵 200L/min、2台 | |
| 油雾捕集器 | 选项 | |
| 操作系统 | 主阀 | 蝶阀 |
| 補助阀 | 三通阀 | |
| 自动泄露阀 | 选项 | |
| 操作 | 手动 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G |
| 电离真空计 | 选项 | |
| 设置 | 最大尺寸 本体 | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 电源 | 设备本体收纳 | |
