产品参数说明：
1.转速范围：100-12000rpm；转速分辨率：1rpm
2.加速度可调范围：100-30000rpm/s
3.单步步长：3000S ;时间分辨率：0.1S
4.单步或多步运行可选，可编程10组10步程序
5.宽电压适用：AC100-230V输入,中英文界面可选标配10mm、25mm、55mm三种直径规格真空载物盘
6.内腔直径：200mm，可处理碎片（小于1cm） 至6英寸圆晶底物。
6.外型尺寸：270mm(W)*387mm(D)*258mm(H)
产品特点： 
1.工业级BLDC电机与单片机控制
2.4.3寸全彩触摸屏人机界面操作
3.超高分子材料内腔，不锈钢外売 特殊设计的防进胶、防堵胶功能
4.可升级一路精确计量自动点胶功能
5.带真空开关和盖子开关安全互锁功能
6.推暮旋涂底物尺寸：6寸圆形底物
